Моделирование распределения ионов в цилиндрической камере магнетронной установки

Bibliographic Details
Published in:	Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 19-23 сентября 2016 г., Томск, Россия : тезисы докладов С. 325
Main Author:	Сайфуллин, Эльмир Равильевич
Other Authors:	Князева, Анна Георгиевна
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	гидродинамическое приближение распределение ионов моделирование статьи в сборниках
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000723025 Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01649naa a2200277 c 4500
001	vtls000723025
003	RU-ToGU
005	20231213154411.0
007	cr \|
008	200721s2016 ru fs 100 0 rus d
035			\|a to000723025
039		9	\|a 202007281204 \|b 100 \|c 202007210008 \|d VLOAD \|y 202007202334 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU
100	1		\|a Сайфуллин, Эльмир Равильевич \|9 148944
245	1	0	\|a Моделирование распределения ионов в цилиндрической камере магнетронной установки \|c Э. Р. Сайфуллин, А. Г. Князева
653			\|a гидродинамическое приближение
653			\|a распределение ионов
653			\|a моделирование
655		4	\|a статьи в сборниках \|9 879352
700	1		\|a Князева, Анна Георгиевна \|9 61920
773	0		\|t Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 19-23 сентября 2016 г., Томск, Россия : тезисы докладов \|d Томск, 2016 \|g С. 325
852	4		\|a RU-ToGU
856	4		\|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000723025
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=468766
908			\|a статья
999			\|c 468766 \|d 468766

Similar Items