Исследование влияния технологических параметров на свойства ВТСП-пленок при магнетронном напылении
Published in: | Физика твердого тела : материалы VII Российской научной студенческой конференции, 16-18 мая 2000 г. С. 133 |
---|---|
Main Author: | Рыжов, М. В. |
Other Authors: | Шарин, А. Г. |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Similar Items
- Особенности воспроизводимого получения ВТСП слоев методом магнетронного распыления
- Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова
- Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления
- Некоторые условия процесса формирования буферных слоев MgO для ВТСП структур
- Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления