Математическое моделирование процессов травления
| Published in: | Физика твердого тела : тезисы докладов VI Российской научной студенческой конференции С. 88 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |