Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова
Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO2 : Sb на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование длительности...
| Published in: | Письма в журнал технической физики Т. 46, вып. 10. С. 21-24 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000794350 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02938nab a2200385 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000794350 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20240723113529.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 210226|2020 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.21883/PJTF.2020.10.49426.18141 |2 doi | |
| 035 | |a to000794350 | ||
| 039 | 9 | |a 202103011955 |b 100 |c 202102261350 |d VLOAD |y 202102261059 |z Александр Эльверович Гилязов | |
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова |c А. В. Цымбалов, В. М. Калыгина, Н. К. Максимова, Е. В. Черников |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 9 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO2 : Sb на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование длительности цикла нагрева и снижение температуры в цикле охлаждения позволяют повысить величину отклика на один-два порядка. Полученные результаты объясняются изменением плотности химически адсорбированного кислорода на поверхности пленки SnO2 : Sb в зависимости от температурного режима. | |
| 653 | |a диоксид олова | ||
| 653 | |a аммиак | ||
| 653 | |a тонкие пленки | ||
| 653 | |a магнетронное распыление | ||
| 653 | |a термоциклирование | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 879358 | |
| 700 | 1 | |a Калыгина, Вера Михайловна |9 74707 | |
| 700 | 1 | |a Максимова, Надежда Кузьминична |9 82322 | |
| 700 | 1 | |a Черников, Евгений Викторович |9 86739 | |
| 700 | 1 | |a Цымбалов, Александр Вячеславович |9 502214 | |
| 773 | 0 | |t Письма в журнал технической физики |d 2020 |g Т. 46, вып. 10. С. 21-24 |x 0320-0116 |w 0028-42260 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000794350 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=480479 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 480479 |d 480479 | ||