Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова
Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO2 : Sb на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование длительности...
| Published in: | Письма в журнал технической физики Т. 46, вып. 10. С. 21-24 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000794350 Перейти в каталог НБ ТГУ |