Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов [учебник для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"]
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
Москва
Высшая школа
1983
|
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Physical Description: | 270, [1] с. ил. |
---|---|
Bibliography: | Библиогр.: с. 265-266 Предм. указ.: с. 267-269 |