Проблемы микроэлектронной технологии Сборник статей
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.
Наука
1994
|
| Series: | Труды Физико-технологического института / Рос. АН
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |