|
|
|
|
| LEADER |
01748nam a2200325 4500 |
| 001 |
vtls000006683 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20210909181547.0 |
| 008 |
120826s1994 rur 000 0 rus d |
| 020 |
|
|
|a 502007019X
|c 1350.00
|
| 035 |
|
|
|a 0007-45960
|
| 039 |
|
9 |
|a 201208261442
|y 200808161206
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|e PSBO
|
| 080 |
|
|
|a 621.38.049.77
|
| 084 |
|
|
|a 47.33.37
|2 rugasnti
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Проблемы микроэлектронной технологии
|c Отв. ред. Л. В. Великов; Рос. АН, Физико-технологический ин-т
|
| 260 |
|
|
|a М.
|b Наука
|c 1994
|9 687413
|
| 300 |
|
|
|a 78 с.
|b ил.
|
| 490 |
1 |
0 |
|a Труды Физико-технологического института / Рос. АН
|v Т. 7
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 653 |
|
|
|a микроэлектроника.
|
| 653 |
|
|
|a технологии.
|
| 653 |
|
|
|a технологические процессы.
|
| 710 |
2 |
|
|a Физико-технологический институт (Москва)
|9 149685
|
| 830 |
|
|
|a Труды Физико-технологического института / Рос. АН
|9 149686
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 1-814016к
|i 621
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=52438
|
| 999 |
|
|
|c 52438
|d 52438
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1808736
|7 0
|9 114553
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-02
|g 1500.00
|l 0
|o 1-808736
|p 13820000319668
|r 2021-04-02
|t 2
|w 2021-04-02
|y 4
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1814016К
|7 0
|9 114554
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-02
|g 1350.00
|l 0
|o 1-814016к
|p 13820000129159
|r 2021-04-02
|t 1
|w 2021-04-02
|y 1
|
