LEADER 01748nam a2200325 4500
001 vtls000006683
003 RU-ToGU
005 20210909181547.0
008 120826s1994 rur 000 0 rus d
020 |a 502007019X  |c 1350.00 
035 |a 0007-45960 
039 9 |a 201208261442  |y 200808161206  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 621.38.049.77 
084 |a 47.33.37  |2 rugasnti 
245 1 0 |a Проблемы микроэлектронной технологии  |c Отв. ред. Л. В. Великов; Рос. АН, Физико-технологический ин-т 
260 |a М.  |b Наука  |c 1994  |9 687413 
300 |a 78 с.  |b ил. 
490 1 0 |a Труды Физико-технологического института / Рос. АН  |v Т. 7 
504 |a Библиогр. в конце ст. 
653 |a микроэлектроника. 
653 |a технологии. 
653 |a технологические процессы. 
710 2 |a Физико-технологический институт (Москва)  |9 149685 
830 |a Труды Физико-технологического института / Рос. АН  |9 149686 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-814016к  |i 621  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=52438 
999 |c 52438  |d 52438 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1808736  |7 0  |9 114553  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |g 1500.00  |l 0  |o 1-808736  |p 13820000319668  |r 2021-04-02  |t 2  |w 2021-04-02  |y 4 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1814016К  |7 0  |9 114554  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |g 1350.00  |l 0  |o 1-814016к  |p 13820000129159  |r 2021-04-02  |t 1  |w 2021-04-02  |y 1