Анищенко, Е. В., Еремина, Н. С., & Мокроусов, Г. М. Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки. Химия редких и редкоземельных элементов и современные материалы : Материалы Российской научно-практической конференции, посвященной 90-летию профессора В. В. Серебренникова (11-13 октября 2001 г., Томск), 0143-79460(Томск, 2001), .
Chicago Style (17th ed.) CitationАнищенко, Екатерина Валентиновна, Нина Степановна Еремина, and Геннадий Михайлович Мокроусов. "Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки." Химия редких и редкоземельных элементов и современные материалы : Материалы Российской научно-практической конференции, посвященной 90-летию профессора В. В. Серебренникова (11-13 октября 2001 г., Томск) 0143-79460, no. Томск, 2001 ().
MLA (8th ed.) CitationАнищенко, Екатерина Валентиновна, et al. "Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки." Химия редких и редкоземельных элементов и современные материалы : Материалы Российской научно-практической конференции, посвященной 90-летию профессора В. В. Серебренникова (11-13 октября 2001 г., Томск), vol. 0143-79460, no. Томск, 2001, .