Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки
| Published in: | Химия редких и редкоземельных элементов и современные материалы : Материалы Российской научно-практической конференции, посвященной 90-летию профессора В. В. Серебренникова (11-13 октября 2001 г., Томск) С. 69-70 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |