Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки

Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Химия редких и редкоземельных элементов и современные материалы : Материалы Российской научно-практической конференции, посвященной 90-летию профессора В. В. Серебренникова (11-13 октября 2001 г., Томск) С. 69-70
Главный автор:	Анищенко, Екатерина Валентиновна
Другие авторы:	Еремина, Нина Степановна, Мокроусов, Геннадий Михайлович
Формат:	Статья в сборнике
Язык:	Russian
Предметы:	редкоземельные элементы. химические науки. полифункциональные материалы. свойства материалов. фоторезист. подложка. концентрация. адгезия. растворы. пленки. труды ученых ТГУ.
Online-ссылка:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Исследование светочувствительности двухслойного фоторезиста
по: Гудымович, Елена Никифоровна

Модификация позитивных фоторезистов введением кремнийорганических соединений
по: Гудымович, Елена Никифоровна

Практическая фотолитография Учебное пособие для студентов университетов и других учебных заведений химических специальностей
по: Гудымович, Елена Никифоровна
Публикация: (1998)

Effect of preliminary vacuum plasma treatment on coating adhesion
по: Slabodchikov, Vladimir A.

Литографические характеристики позитивного фоторезиста на основе нафтохинондиазида в зависимости от условий нанесения и обработки поверхности подложки
по: Анищенко, Екатерина Валентиновна

Синтез и исследование сплавов РЗМ с алюминием
по: Новоженов, Владимир Антонович

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
по: Родионов Ю. А.
Публикация: (2023)

Исследование физико-химических свойств твердых сплавов РЗМ с галлием и магнием
по: Новоженов, Владимир Антонович

Моделирование контактного взаимодействия полимерного покрытия с металлической подложкой

Использование данных по растворимости для получения концентратов РЗЭ

Моделирование процессов сорбции ионов РЗЭ на макросетчатых карбоксильных катионитах
по: Бобкова, Людмила Александровна

Синтез люминофоров на основе алюмоборатов лантана и гадолиния
по: Мишенина, Людмила Николаевна

Синтез и свойства пленок In2O3-SnO2
по: Кузнецова, Светлана Анатольевна химик

Влияние подложки на формирование металлических катализаторов гидрирования CO
по: Гордеев, Александр Вячеславович

Синтез и исследование гетерополисоединений фосфоровольфрамата и фосфоромолибдата европия
по: Чернов, Евгений Борисович

Получение и исследование поверхностных свойств оловованадиевых систем
по: Егорова, Лидия Александровна

Тонкопленочные композиционные материалы на основе оксидов кремния и РЗЭ
по: Борило, Людмила Павловна

Photonic jet by a near-unity-refractive-index sphere on a dielectric substrate with high index contrast

Разработка ракетного топлива и аварии на космодромах
по: Главацкий, Юрий Федорович

Полифункциональные материалы на основе соединений редких и РЗЭ
по: Козик, Владимир Васильевич 1947-2021

Effects of sapphire substrate orientation on Sn-doped α-Ga2O3 grown by halide vapor phase epitaxy using α-Cr2O3 buffers

Закономерности процессов диффузии воды в полимерных матрицах на основе полиметилметакрилата
по: Зарецкая, Т. В.

Формирование интерметаллидных поверхностных слоев методом высокоинтенсивной ионной имплантации

Изучение кислотно-основных и люминесцентных свойств люминофоров на основе РЗЭ
по: Огнева, Татьяна Павловна

Люминесцирующие композиции на основе метилметакрилата, возбуждаемые полупроводниковым светодиодом
по: Вайтулевич, Елена Анатольевна

Ионообменное концентрирование Fe (III, II) при анализе воды потенциометрическим методом
по: Киселева, Маина Александровна

Структура и свойства системы покрытие (TiCuN) – подложка (А7), модифицированной интенсивным электронным пучком

Структура и свойства поверхностного сплава, формируемого при обработке высокоинтенсивным электронным пучком системы пленка – подложка

Особенности диффузии в переходной зоне "покрытие (Si,Ta) – подложка (TiNi)" при внешнем нагреве
по: Князева, Анна Георгиевна

Модель термобарьерного покрытия при несовершенном контакте на границе "покрытие-подложка"

Структура и свойства поверхностного сплава, сформированного при высокоскоростном плавлении системы пленка-подложка

Определение селена (IV) потенциометрическим титрованием раствором диэтилдитиокарбамата натрия
по: Марьянов, Борис Михайлович

Кинетические закономерности сорбции компонентов в сложных полимерных системах как метод их тестирования
по: Велинкова, М. Н.

Физико-химическое исследование свойств пленок системы HfO2-Y2O3
по: Мишенина, Людмила Николаевна

Изменение локальной температуры материала при электронно-пучковой обработке и ее влияние на свойства модифицированного слоя

Conduction mechanism of metal-TiO2-Si structures

Modification of the structure and properties of gradient nanocrystalline coatings Ti-Al- Si-Cu-N by annealing in vacuum
по: Ovchinnikov, Stanislav V.

Electron-phonon interaction in the 4/3-monolayer of Pb on Si(111):theory versus He-atom scattering experiments

Влияние структуры и состава на термохромные свойства молибдофосфатов элементов триады железа
по: Радишевская, Нина Ивановна

Атомно-эмисионное определение редкоземельных элементов в оксисульфидах
по: Бобкова, Людмила Александровна