Bibliographic Details
Published in: | Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники) : материалы XI международной научно-технической конференции (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005, 8-10 сентября). Тонкие пленки в электронике : материалы XVII международного симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана 2005, 8-10 сентября)
С. 179-188 |
Other Authors: |
Войцеховский, Александр Васильевич,
Несмелов, Сергей Николаевич,
Кульчицкий, Николай Александрович,
Кульчицкий, А. Н.,
Мельников, Александр Александрович доктор физ.-мат. наук |
Format: | Book Chapter
|
Language: | Russian |
Subjects: |
|
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ
|