LEADER 01854nam a2200409 4500
001 vtls000052829
003 RU-ToGU
005 20230319135235.0
008 000112s1999 ru 00| | rus d
020 |a 5934970011 
035 |a 0055-53960 
039 9 |y 200511060549  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 621.315.592 
080 |a 537.311.322 
100 1 |a Красников, Геннадий Яковлевич  |d 1958-  |9 97433 
245 1 0 |a Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС  |n Ч. 2 
260 |a М.  |c 1999  |9 702824 
300 |a 216 с.  |b гр. 
504 |a Библиогр.: с. 213-214 
653 |a субмикронная технология. 
653 |a полупроводники. 
653 |a геттерирование. 
653 |a дефекты структурно-примесные. 
653 |a дрейф ионов. 
653 |a кремниевые микросхемы. 
653 |a интегральные схемы. 
653 |a электронно-ионные процессы. 
653 |a чипы кремниевые. 
653 |a электрофизические свойства. 
653 |a алюминиевые пленки. 
653 |a металлизация алюминиевая. 
700 1 |a Зайцев, Николай Алексеевич.  |9 112038 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-868125к  |i 621.3  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=5599 
999 |c 5599  |d 5599 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1868125К_6213  |7 0  |9 12091  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |g 24.00  |l 0  |o 1-868125к 621.3  |p 13820000080468  |r 2021-04-02  |t 1  |w 2021-04-02  |y 1