Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.03

Bibliographic Details
Main Author:	Рыжикова, Юлия Владимировна
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва [б. и.] 2008
Subjects:	радиофизика авторефераты диссертаций
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01353nam a2200253 i 4500
001	vtls000339384
003	RU-ToGU
005	20230319232513.0
008	081203s2008 ru a f bm 000 0 rus d
035			\|a to000339384
039		9	\|y 200812032015 \|z Александр Эльверович Гилязов
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU
072		7	\|a 01.04.03 \|2 nsnr
100	1		\|a Рыжикова, Юлия Владимировна \|9 559359
245	1	0	\|a Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии \|b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.03
260			\|a Москва \|b [б. и.] \|c 2008 \|9 706519
300			\|a 17 с. \|b ил.
504			\|a Библиогр.: с. 16-17
650		7	\|a радиофизика \|2 nsnr \|9 56202
653			\|a авторефераты диссертаций
852	4		\|a RU-ToGU \|n ru
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=562108
999			\|c 562108 \|d 562108
952			\|0 0 \|1 0 \|4 0 \|6 1967993К \|7 0 \|9 804830 \|a RU-ToGU \|b RU-ToGU \|c 10024 \|d 2021-04-06 \|g 60.00 \|l 0 \|o 1-967993к \|p 13820000661938 \|r 2021-04-06 \|w 2021-04-06 \|y 1

Similar Items