Особенности формирования AlN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 - Милахин, Денис Сергеевич ([б. и.], 2021)