Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2

Bibliographic Details
Main Author: Зайцев, Николай Алексеевич
Other Authors: Шурчков, Игорь Олегович
Format: Book
Language:Russian
Published: М. Радио и связь 1993
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 01414nam a2200337 4500
001 vtls000003945
003 RU-ToGU
005 20210921194022.0
008 910125s1993 rur 000 0 rus d
020 |z 5256011772  |c 250.00 
035 |a 0004-38160 
039 9 |y 200808161100  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 621.314.632 
084 |a 29.19.31  |2 rugasnti 
100 1 |a Зайцев, Николай Алексеевич.  |9 112038 
245 1 0 |a Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2 
260 |a М.  |b Радио и связь  |c 1993  |9 701939 
300 |a 192 с.  |b ил. 
504 |a Библиогр. в конце глав. 
653 |a кремний. 
653 |a дефекты. 
653 |a микросхемы. 
653 |a электрофизика. 
653 |a окисление. 
653 |a Si-SiO2. 
700 1 |a Шурчков, Игорь Олегович.  |9 155572 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-810839к  |i 621.3  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=56788 
999 |c 56788  |d 56788 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1810839К  |7 0  |9 120974  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |g 250.00  |l 0  |o 1-810839к   |p 13820000041109  |r 2021-04-02  |t 1  |w 2021-04-02  |y 1