(1977). Введение в фотолитографию. Энергия.
Chicago-стиль цитированияВведение в фотолитографию. М: Энергия, 1977.
MLA-цитированиеВведение в фотолитографию. Энергия, 1977.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
APA Цитирование