Введение в фотолитографию

Bibliographic Details
Format: Book
Language:Russian
Published: М. Энергия 1977
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 00773nam a2200181 4500
001 vtls000059897
003 RU-ToGU
005 20210921194309.0
008 000320s1977 ru 00| | rus d
035 |a 0062-70760 
039 9 |y 200511060819  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
245 1 0 |a Введение в фотолитографию 
260 |a М.  |b Энергия  |c 1977  |9 702663 
300 |a 399, [1] с. 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=58067 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1269547  |7 0  |9 123533  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |g 1.47  |l 0  |o 1-269547  |p 13820000131620  |r 2026-01-19 00:00:00  |t 1  |w 2021-04-02  |y 4 
999 |c 58067  |d 58067