Технология СБИС в 2 кн.

Технология СБИС в 2 кн. [Кн.] 2

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Other Authors: Могэб, К., Фрейзер, Д., Фичтнер, У., Зи, С. М. (Editor), Чистяков, Юрий Дмитриевич (Editor)
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва Мир 1986
Subjects:
интегральные схемы сверхбольшие кремниевые
ионно-плазменные технологии
металлизация интегральных схем
герметизация интегральных схем
тестирование интегральных схем
надежность интегральных схем
травление сухое интегральных схем
сборка интегральных схем
контроль интегральных схем
диагностика интегральных схем
миниатюризация интегральных схем
литография интегральных схем
ионная имплантация интегральных схем
технология интегральных микросхем
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
Description
Item Description:Авт. указаны на обороте тит. л.
Physical Description:453 с. ил.
Bibliography:Библиогр. в конце глав.
Предм. указ.: с. 445-451

Similar Items