Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые приборы"
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.
Высшая школа
1986
|
| Edition: | 3-е изд., перераб. и доп. |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Physical Description: | 367, [1] с. |
|---|