|
|
|
|
LEADER |
02875nam a2200529 4500 |
001 |
vtls000076257 |
003 |
RU-ToGU |
005 |
20210910114232.0 |
008 |
000828s2000 ru a f b 000 0 rus d |
035 |
|
|
|a 0079-31460
|
039 |
|
9 |
|a 201111221908
|c 200601031308
|d VLOAD
|y 200511061327
|z Александр Эльверович Гилязов
|
040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|e PSBO
|
080 |
|
|
|a 537.311.322:539.219.3(043.3)
|
080 |
|
|
|a 539.219.3:537.58(043.3)
|
100 |
1 |
|
|a Ардышев, Михаил Вячеславович.
|9 165529
|
245 |
1 |
0 |
|a Исследование радиационно-термических процессов формирования ионно-легированных слоев n-GaAs
|b Диссертационная работа на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
|c Науч. рук. С. С. Хлудков; Том. гос. ун-т
|
260 |
|
|
|a Томск
|c 2000
|9 687986
|
300 |
|
|
|a 150 л.
|b ил.
|
504 |
|
|
|a Библиогр.: л. 142-149
|
653 |
|
|
|a диссертации.
|
653 |
|
|
|a полупроводники легированные.
|
653 |
|
|
|a твердые тела.
|
653 |
|
|
|a поверхностные явления в полупроводниках
|
653 |
|
|
|a электронно-дырочная плазма.
|
653 |
|
|
|a термоионизация полупроводников
|
653 |
|
|
|a диффузия в полупроводниках
|
653 |
|
|
|a некогерентные источники света.
|
653 |
|
|
|a фотонное излучение.
|
653 |
|
|
|a лазерное излучение.
|
653 |
|
|
|a термический отжиг быстрый.
|
653 |
|
|
|a лазерный отжиг.
|
653 |
|
|
|a электронный отжиг.
|
653 |
|
|
|a электронные пучки.
|
653 |
|
|
|a радиационно-термические технологии (полупроводники).
|
653 |
|
|
|a имплантированные слои.
|
653 |
|
|
|a полупроводниковые структуры.
|
653 |
|
|
|a электроны.
|
653 |
|
|
|a напряжения.
|
653 |
|
|
|a ионизация.
|
653 |
|
|
|a арсенид галлия.
|
653 |
|
|
|a ионная имплантация.
|
653 |
|
|
|a электроактивация.
|
710 |
2 |
|
|a Томский государственный университет.
|9 53646
|
852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 1-838324к
|i 537
|n ru
|
856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=68920
|
999 |
|
|
|c 68920
|d 68920
|
952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1838324К
|7 0
|9 144305
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-02
|g 50.00
|l 0
|o 1-838324к
|p 13820000197596
|r 2021-04-02
|t 1
|w 2021-04-02
|y 1
|