Исследование радиационно-термических процессов формирования ионно-легированных слоев n-GaAs Диссертационная работа на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10

Bibliographic Details
Main Author: Ардышев, Михаил Вячеславович
Corporate Author: Томский государственный университет
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2000
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 02875nam a2200529 4500
001 vtls000076257
003 RU-ToGU
005 20210910114232.0
008 000828s2000 ru a f b 000 0 rus d
035 |a 0079-31460 
039 9 |a 201111221908  |c 200601031308  |d VLOAD  |y 200511061327  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 537.311.322:539.219.3(043.3) 
080 |a 539.219.3:537.58(043.3) 
100 1 |a Ардышев, Михаил Вячеславович.  |9 165529 
245 1 0 |a Исследование радиационно-термических процессов формирования ионно-легированных слоев n-GaAs  |b Диссертационная работа на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10  |c Науч. рук. С. С. Хлудков; Том. гос. ун-т 
260 |a Томск  |c 2000  |9 687986 
300 |a 150 л.  |b ил. 
504 |a Библиогр.: л. 142-149 
653 |a диссертации. 
653 |a полупроводники легированные. 
653 |a твердые тела. 
653 |a поверхностные явления в полупроводниках 
653 |a электронно-дырочная плазма. 
653 |a термоионизация полупроводников 
653 |a диффузия в полупроводниках 
653 |a некогерентные источники света. 
653 |a фотонное излучение. 
653 |a лазерное излучение. 
653 |a термический отжиг быстрый. 
653 |a лазерный отжиг. 
653 |a электронный отжиг. 
653 |a электронные пучки. 
653 |a радиационно-термические технологии (полупроводники). 
653 |a имплантированные слои. 
653 |a полупроводниковые структуры. 
653 |a электроны. 
653 |a напряжения. 
653 |a ионизация. 
653 |a арсенид галлия. 
653 |a ионная имплантация. 
653 |a электроактивация. 
710 2 |a Томский государственный университет.  |9 53646 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-838324к  |i 537  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=68920 
999 |c 68920  |d 68920 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1838324К  |7 0  |9 144305  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |g 50.00  |l 0  |o 1-838324к  |p 13820000197596  |r 2021-04-02  |t 1  |w 2021-04-02  |y 1