Структура и состав трехслойных покрытий AlSiN+Ni+AlSiN, полученных методом магнетронного распыления

Структура и состав трехслойных покрытий AlSiN+Ni+AlSiN, полученных методом магнетронного распыления

Bibliographic Details
Published in:	Международная конференция "Физическая мезомеханика. Материалы с многоуровневой иерархически организованной структурой и интеллектуальные производственные технологии", 6-10 сентября 2021 г., Томск, Россия : тезисы докладов С. 145-146
Other Authors:	Губайдулина, Татьяна Анатольевна, Дорофеева, Тамара Ивановна, Сергеев, Виктор Петрович 1949-, Калашников, Марк Петрович, Журавлев, Сергей Александрович, Воронов, Андрей Викторович
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	магнетронное распыление экспериментальные исследования трехслойные покрытия статьи в сборниках
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000718861 Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items

Структурно-фазовое состояние магнетронных коррозионно-стойких покрытий Al-Si-N/Ni/Al-Si-N, нанесенных на нержавеющую сталь

Микроструктура и механические свойства покрытий Ti–Al–Ta–N, полученных методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
by: Кузьминов, Евгений Дмитриевич

Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления

Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN

Microstructure and properties of nanocomposite Al-Si-N system coatings produced by magnetron sputtering

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Magnetron sputtering of Si-Al-N nanocomposite coatings on quartz for protection against impacts of high speed microparticles

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления

Фазовый состав и тонкая структура слоя Zr-Y-O в многослойных покрытиях Zr-Y-O / Si-Al-N

Особенности воспроизводимого получения ВТСП слоев методом магнетронного распыления

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Исследование влияния обработки поверхности полимерных скаффолдов методом магнетронного распыления на высвобождение инкорпорированных лекарственных средств
by: Файт, Арина Олеговна

Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок

Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку

Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления

Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W

Установка для нанесения кальцийфосфатных покрытий в плазме ВЧ-магнетронного разряда на медицинские имплантаты

Особенности кинетики и механизма формирования пленок при оксидировании гетероструктур V2O5/InP, сформированных методами реактивного магнетронного распыления и электрического взрыва проводника

Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением
by: Слабодчиков, Владимир Андреевич

Влияние режимов магнетронного осаждения на элементный состав и морфологические особенности роста покрытий системы Ti-Al-Si-Cu-N
by: Галанов, Данил Павлович

Микроструктура нанокомпозитных сверхтвердых покрытий системы Ti-Si-B-N и Ti-Si-Al-N
by: Мошков, Владимир Юрьевич

Характеристика тонкопленочного высокоэнтропийного покрытия Fe40Ni23.5Al22.8Co12.8W0.9, полученного радиочастотным магнетронным распылением
by: Бледнова, Жесфина Михайловна

Физические основы наклонного напыления фосфатов кальция из плазмы ВЧ-магнетронного разряда

Фазовый состав и морфология поверхности диэлектрических и полупроводниковых пленок, сформированных термооксидированием гетероструктур (V2O5+PbO)/InP и (NiO+PbO)/InP

Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова

Структура и свойства пленок из высокоэнтропийного материала с термоупругими фазовыми превращениями FeNiCoAlW, полученных магнетронным распылением

Исследование ионно-плазменных нитридных покрытий, полученных распылением композиционных порошковых катодов Ti-Al-Si

Исследование многослойных наноструктурных покрытий на основе системы Ni-Al, сформированных методом магнетронного напыления

Синтез и исследование нанокомпозитных покрытий с нанокристаллическими частицами карбида титана в аморфной углеродной матрице

Структура наноразмерных пленок углерода и карбида кремния на кремнии, полученных магнетронным и ионно-лучевым распылением мишени

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
by: Майер, Д. Н.

Surface modification of polymer scaffolds by reactive magnetron sputtering controls the release of an incorporated drug
by: Fayt, A. O.

High sensitivity low-temperature hydrogen sensors based on SnO2/κ(ε)-Ga2O3:Sn heterostructure

Влияние модифицирования поверхности InP композициями оксидов (V2O5+PbO) и (NiO+PbO) разного состава на процесс термооксидирования полупроводника и характеристики формируемых оксидных пленок

Структура и адгезионная прочность покрытий, полученных методами магнетронного осаждения тантала на поверхности TiNi
by: Гудимова, Екатерина Юрьевна

The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys