Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия
Представлена технология изготовления Т-образных затворов GaAs-транзисторов с использованием оптической литографии и уникального метода направленного углового напыления тонких алюминиевых пленок. Минимальная длина ножки Т-образного затвора, сформированного по разработанной технологии, составила Lg...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 2. С. 63-68 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000720896 Перейти в каталог НБ ТГУ |