LEADER 01754naa a2200325 c 4500
001 koha000721732
005 20211124152425.0
008 211118s2002 ru f 100 0 rus d
035 |a koha000721732 
039 |z 26  |b 26 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Получение пленок GaAs на подложках из кремния и арсенида галлия в квазизамкнутом объеме  |c Б. Л. Агапов, И. Н. Арсентьев, Н. Н. Безрядин [и др.]  
504 |a Библиогр.: 7 назв. 
653 |a физика полупроводников  
653 |a полупроводниковые соединения 
653 |a арсенид галлия 
653 |a кремний 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a квазизамкнутый объем 
653 |a полупроводниковые материалы 
653 |a эпитаксиальные слои 
700 1 |a Агапов, Борис Львович  |9 152884 
700 1 |a Арсентьев, И. Н.  |9 763535 
700 1 |a Безрядин, Николай Николаевич  |9 378993 
773 0 |t Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции  |d Томск, 2002  |g С. 189-191  |w 0183-75860 
852 4 |a RU-ToGU  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=721732 
908 |a статья 
942 |2 udc 
999 |c 721732  |d 721732