Изделия микромеханики на основе арсенида галлия

Bibliographic Details
Published in:	Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 312-314
Main Author:	Юрченко, Василий Иванович
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	физика полупроводников полупроводники полупроводниковые приборы микроэлектромеханические устройства электронные устройства СВЧ устройства экспериментальные исследования полупроводниковые материалы
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ


LEADER	01550naa a2200301 c 4500
001	koha000722240
005	20240701144949.0
008	211126s2002 ru f 100 0 rus d
035			\|a koha000722240
039			\|z 26 \|b 100
040			\|a RU-ToGU \|b rus \|c RU-ToGU
100	1		\|a Юрченко, Василий Иванович \|9 218992
245	1	0	\|a Изделия микромеханики на основе арсенида галлия \|c В. И. Юрченко
504			\|a Библиогр.: 13 назв.
653			\|a физика полупроводников
653			\|a полупроводники
653			\|a полупроводниковые приборы
653			\|a микроэлектромеханические устройства
653			\|a электронные устройства
653			\|a СВЧ устройства
653			\|a экспериментальные исследования
653			\|a полупроводниковые материалы
773	0		\|t Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции \|d Томск, 2002 \|g С. 312-314 \|w 0183-75860
852	4		\|a RU-ToGU \|n ru
856			\|y Перейти в каталог НБ ТГУ \|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=722240
908			\|a статья
942			\|2 udc
999			\|c 722240 \|d 722240

Similar Items