Влияния условий горения разряда на распределения параметров плазмы, генерируемой в несамостоятельном тлеющем разряде внутри полого катода
Исследованы параметры плазмы несамостоятельного тлеющего разряда, генерируемой внутри металлического полого катода длиной 300 мм и внутренним диаметром 25 мм. Особенностью данной системы является дополнительная инжекция электронов из плазмы вспомогательного разряда, формируемой источником плазмы с к...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 11. С. 171-176 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000722765 |
| Summary: | Исследованы параметры плазмы несамостоятельного тлеющего разряда, генерируемой внутри металлического полого катода длиной 300 мм и внутренним диаметром 25 мм. Особенностью данной системы является дополнительная инжекция электронов из плазмы вспомогательного разряда, формируемой источником плазмы с комбинированным накаленным и полым катодом «ПИНК». Представлены и описаны зависимости и режимы горения несамостоятельного тлеющего разряда при давлении в диапазоне 0.06−1.5 Па и напряжении горения 70−300 В. Исследования параметров плазмы с помощью двойных зондов Ленгмюра показали, что данная разрядная система обеспечивает генерацию азотной плазмы внутри полого катода с неоднородностью от ±12 до ±63%. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: 13 назв. |
| ISSN: | 0021-3411 |
| Access: | Ограниченный доступ |