Влияния условий горения разряда на распределения параметров плазмы, генерируемой в несамостоятельном тлеющем разряде внутри полого катода

Исследованы параметры плазмы несамостоятельного тлеющего разряда, генерируемой внутри металлического полого катода длиной 300 мм и внутренним диаметром 25 мм. Особенностью данной системы является дополнительная инжекция электронов из плазмы вспомогательного разряда, формируемой источником плазмы с к...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 11. С. 171-176
Other Authors: Игнатов, Данил Юрьевич, Ковальский, Сергей Сергеевич, Денисов, Владимир Викторович канд. техн. наук, Лопатин, Илья Викторович, Коваль, Николай Николаевич
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000722765
LEADER 03042nab a2200361 c 4500
001 koha000722765
005 20241102114821.0
007 cr |
008 211206|2021 ru s c rus d
024 7 |a 10.17223/00213411/64/11/171  |2 doi 
035 |a koha000722765 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Влияния условий горения разряда на распределения параметров плазмы, генерируемой в несамостоятельном тлеющем разряде внутри полого катода  |c Д. Ю. Игнатов, С. С. Ковальский, В. В. Денисов [и др.] 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 13 назв. 
506 |a Ограниченный доступ 
520 3 |a Исследованы параметры плазмы несамостоятельного тлеющего разряда, генерируемой внутри металлического полого катода длиной 300 мм и внутренним диаметром 25 мм. Особенностью данной системы является дополнительная инжекция электронов из плазмы вспомогательного разряда, формируемой источником плазмы с комбинированным накаленным и полым катодом «ПИНК». Представлены и описаны зависимости и режимы горения несамостоятельного тлеющего разряда при давлении в диапазоне 0.06−1.5 Па и напряжении горения 70−300 В. Исследования параметров плазмы с помощью двойных зондов Ленгмюра показали, что данная разрядная система обеспечивает генерацию азотной плазмы внутри полого катода с неоднородностью от ±12 до ±63%. 
653 |a тлеющие разряды 
653 |a полые катоды 
653 |a режимы горения 
653 |a экспериментальные исследования 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Игнатов, Данил Юрьевич 
700 1 |a Ковальский, Сергей Сергеевич 
700 1 |a Денисов, Владимир Викторович  |c канд. техн. наук 
700 1 |a Лопатин, Илья Викторович 
700 1 |a Коваль, Николай Николаевич 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2021  |g Т. 64, № 11. С. 171-176  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000722765 
908 |a статья 
999 |c 722765  |d 722765