Интегральные схемы материалы, приборы, изготовление

Bibliographic Details
Main Author:	Тилл, Уильям
Other Authors:	Лаксон, Джеймс
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва Мир 1985
Subjects:	Микроэлектронные схемы интегральные. транзисторы биполярные диоды с p-n переходом МОП-транзисторы акцепторные примеси полупроводников донорные примеси полупроводников эпитаксиальные слои микроэлектронные схемы тонкопленочные микроэлектронные схемы толстопленочные имплантированные слои кремния ионная имплантация полупроводников литография кристаллическая решетка кремния выращивание кристаллов дефекты кристаллов логические элементы цифровые интегральные схемы гибридные установка интегральных микросхем испытание интегральных микросхем
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Description
Physical Description:	504 с. ил. 22 см
Bibliography:	Библиогр. в конце глав. Предм. указ.: с. 496-501

Similar Items