Элементарные процессы на ступенях в кинетике эпитаксиального роста и легирования при сильных отклонениях от равновесия автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author: Эрвье, Юрий Юрьевич
Corporate Author: Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников
Format: eBook
Language:Russian
Published: Томск [б. и.] 2012
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000432195
Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items