Вакуумная технология и оснастка Материалы международной конференции( г. Паневежис (Литва), 29-30 октября 1998)

Bibliographic Details
Other Authors: Черниенко, А. С. (Editor)
Format: Book
Language:Russian
Published: М. Издательство Московского университета 1999
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 01729nam a2200301 4500
001 vtls000076084
003 RU-ToGU
005 20210921202622.0
008 000824s1999 ru a f b 000 0 rus d
020 |a 5211042158 
035 |a 0079-13360 
039 9 |y 200511061319  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 621.37/.39.002.2(063) 
245 1 0 |a Вакуумная технология и оснастка  |b Материалы международной конференции( г. Паневежис (Литва), 29-30 октября 1998)  |c Редкол. : А. С. Черниенко и др. ; Моск. гос. ун-т; Общество ученых Литвы; Моск. авиационный технолог. ун-т им. К. Э. Циолковского 
260 |a М.  |b Издательство Московского университета  |c 1999  |9 689907 
300 |a 111 с.  |b граф. 
653 |a тонкие пленки. 
653 |a Электронные приборы. 
653 |a свойства (тонкие пленки). 
653 |a вакуумные системы. 
653 |a вакуумные технологии. 
653 |a полупроводниковые материалы. 
700 1 |a Черниенко, А. С.  |e ред.  |4 edt  |9 173288 
852 4 |a RU-ToGU  |h 1-838340к  |i 621.37/.39  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=78013 
999 |c 78013  |d 78013 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1838340К  |7 0  |9 166533  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-02  |g 19.00  |l 0  |o 1-838340к  |p 13820000192709  |r 2021-04-02  |t 1  |w 2021-04-02  |y 1