|
|
|
|
LEADER |
01729nam a2200301 4500 |
001 |
vtls000076084 |
003 |
RU-ToGU |
005 |
20210921202622.0 |
008 |
000824s1999 ru a f b 000 0 rus d |
020 |
|
|
|a 5211042158
|
035 |
|
|
|a 0079-13360
|
039 |
|
9 |
|y 200511061319
|z Александр Эльверович Гилязов
|
040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|e PSBO
|
080 |
|
|
|a 621.37/.39.002.2(063)
|
245 |
1 |
0 |
|a Вакуумная технология и оснастка
|b Материалы международной конференции( г. Паневежис (Литва), 29-30 октября 1998)
|c Редкол. : А. С. Черниенко и др. ; Моск. гос. ун-т; Общество ученых Литвы; Моск. авиационный технолог. ун-т им. К. Э. Циолковского
|
260 |
|
|
|a М.
|b Издательство Московского университета
|c 1999
|9 689907
|
300 |
|
|
|a 111 с.
|b граф.
|
653 |
|
|
|a тонкие пленки.
|
653 |
|
|
|a Электронные приборы.
|
653 |
|
|
|a свойства (тонкие пленки).
|
653 |
|
|
|a вакуумные системы.
|
653 |
|
|
|a вакуумные технологии.
|
653 |
|
|
|a полупроводниковые материалы.
|
700 |
1 |
|
|a Черниенко, А. С.
|e ред.
|4 edt
|9 173288
|
852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 1-838340к
|i 621.37/.39
|n ru
|
856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=78013
|
999 |
|
|
|c 78013
|d 78013
|
952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1838340К
|7 0
|9 166533
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-02
|g 19.00
|l 0
|o 1-838340к
|p 13820000192709
|r 2021-04-02
|t 1
|w 2021-04-02
|y 1
|