Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]

Bibliographic Details
Main Author:	Григорьев Федор Иосифович
Format:	eBook
Language:	Russian
Published:	Москва [б. и.] 2008
Subjects:	электронные учебные пособия для вузов полимеры, физические свойства. полимеры, химическое строение органические полимеры. полимерные материалы. ускоренные ионы торможение ионов имплантация ионная физико-химические процессы. радиационно-химические процессы. изменение свойств полимеров ионно-плазменная обработка ионно-лучевая литография фоторезисты электронорезисты плазмохимическое травление. полимеры ионно-имплантированные
Online Access:	http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551143/000551143.pdf Перейти в каталог НБ ТГУ

Description
Physical Description:	1 онлайн-ресурс (35 с.) ил.
Bibliography:	Библиогр.: с. 33

Similar Items