|
|
|
|
| LEADER |
02644nam a2200469 c 4500 |
| 001 |
vtls000551143 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20230319151250.0 |
| 006 |
m o d |
| 007 |
cr a| |||ba |
| 008 |
161116s2008 ru a sb 000 0 rus d |
| 035 |
|
|
|a to000551143
|
| 039 |
|
9 |
|a 201701251753
|c 201611281739
|d cat02
|c 201611161656
|d cat06
|y 201611161652
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 080 |
|
|
|a 621.791.927.55-036-022.532:621.382.049.77(075.8)
|
| 100 |
1 |
|
|a Григорьев Федор Иосифович
|9 175938
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники
|h Электронный ресурс
|b [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
|c Ф. И. Григорьев ; Московский гос. ин-т электроники и математики (Технический ун-т)
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b [б. и.]
|c 2008
|9 706519
|
| 300 |
|
|
|a 1 онлайн-ресурс (35 с.)
|b ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 33
|
| 653 |
|
|
|a электронные учебные пособия для вузов
|
| 653 |
|
|
|a полимеры, физические свойства.
|
| 653 |
|
|
|a полимеры, химическое строение
|
| 653 |
|
|
|a органические полимеры.
|
| 653 |
|
|
|a полимерные материалы.
|
| 653 |
|
|
|a ускоренные ионы
|
| 653 |
|
|
|a торможение ионов
|
| 653 |
|
|
|a имплантация ионная
|
| 653 |
|
|
|a физико-химические процессы.
|
| 653 |
|
|
|a радиационно-химические процессы.
|
| 653 |
|
|
|a изменение свойств полимеров
|
| 653 |
|
|
|a ионно-плазменная обработка
|
| 653 |
|
|
|a ионно-лучевая литография
|
| 653 |
|
|
|a фоторезисты
|
| 653 |
|
|
|a электронорезисты
|
| 653 |
|
|
|a плазмохимическое травление.
|
| 653 |
|
|
|a полимеры ионно-имплантированные
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|n ru
|
| 856 |
7 |
|
|u http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551143/000551143.pdf
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=81380
|
| 908 |
|
|
|a учебник
|
| 999 |
|
|
|c 81380
|d 81380
|
