Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники [учебное пособие для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"]
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
[б. и.]
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://sun.tsu.ru/limit/2016/000551143/000551143.pdf Перейти в каталог НБ ТГУ |