Имплантация ионов аргона и молекулярного азота в эпитаксиальные пленки КРТ, выращенные методом МЛЭ
| Published in: | Современные проблемы физики и высокие технологии : материалы Международной конференции, посвященной 125-летию ТГУ, 75-летию СФТИ и 50-летию РФФ ТГУ (29 сентября - 4 октября 2003 г.) С. 201-204 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: |