Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом

Сформированы многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава (NbMoCrTiAl)N и (NbZrCuTiAl)N путем осаждения на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазмен...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 11. С. 59-64
Другие авторы: Иванов, Юрий Федорович 1955-, Ахмадеев, Юрий Халяфович, Коваль, Николай Николаевич, Шугуров, Владимир Викторович, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Крысина, Ольга Васильевна, Прокопенко, Никита Андреевич, Толкачев, Олег Сергеевич
Формат: Статья в журнале
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925022
LEADER 03539nab a2200397 c 4500
001 koha000925022
005 20241102114806.0
007 cr |
008 221205|2022 ru s c rus d
024 7 |a 10.17223/00213411/65/11/59  |2 doi 
035 |a koha000925022 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом  |c Ю. Ф. Иванов, Ю. Х. Ахмадеев, Н. Н. Коваль [и др.] 
336 |a Текст 
337 |a электронный 
504 |a Библиогр.: 22 назв. 
506 |a Ограниченный доступ 
520 3 |a Сформированы многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава (NbMoCrTiAl)N и (NbZrCuTiAl)N путем осаждения на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазменным ассистированием в среде азота. Установлено, что сформированные покрытия являются однофазными материалами, имеющими гранецентрированную кубическую кристаллическую решетку с параметром a = 0.44288 нм (покрытие состава (NbZrCuTiAl)N) и с параметром a = 0.40540 нм (покрытие состава (NbMoCrTiAl)N). Формируемые нитридные покрытия имеют нанокристаллическую многослойную структуру. Микротвердость покрытий зависит от концентрации и типа химических элементов, давления азота в газо-металлической плазме и достигает 43 ГПа для покрытия состава (NbMoCrTiAl)N и 46.5 ГПа для покрытия состава (NbZrCuTiAl)N. 
653 |a нитридные покрытия 
653 |a квазиэквиатомные составы 
653 |a вакуумно-дуговое плазменно-ассистированное осаждение 
653 |a экспериментальные исследования 
655 4 |a статьи в журналах 
700 1 |a Иванов, Юрий Федорович  |d 1955- 
700 1 |a Ахмадеев, Юрий Халяфович 
700 1 |a Коваль, Николай Николаевич 
700 1 |a Шугуров, Владимир Викторович 
700 1 |a Петрикова, Елизавета Алексеевна 
700 1 |a Крысина, Ольга Васильевна 
700 1 |a Прокопенко, Никита Андреевич 
700 1 |a Толкачев, Олег Сергеевич 
773 0 |t Известия высших учебных заведений. Физика  |d 2022  |g Т. 65, № 11. С. 59-64  |x 0021-3411  |w 0026-80960 
852 4 |a RU-ToGU 
856 4 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925022 
908 |a статья 
999 |c 925022  |d 925022