Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом

Сформированы многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава (NbMoCrTiAl)N и (NbZrCuTiAl)N путем осаждения на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазмен...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 11. С. 59-64
Other Authors:	Иванов, Юрий Федорович 1955-, Ахмадеев, Юрий Халяфович, Коваль, Николай Николаевич, Шугуров, Владимир Викторович, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Крысина, Ольга Васильевна, Прокопенко, Никита Андреевич, Толкачев, Олег Сергеевич
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	нитридные покрытия квазиэквиатомные составы вакуумно-дуговое плазменно-ассистированное осаждение экспериментальные исследования статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925022