Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом
Сформированы многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава (NbMoCrTiAl)N и (NbZrCuTiAl)N путем осаждения на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазмен...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 11. С. 59-64 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925022 |