Диффузия примесей и собственных точечных дефектов в арсениде галлия
В монографии систематизированы наиболее важные, по нашему мнению, данные, касающиеся процесса диффузии в арсениде галлия собственных точечных дефектов, донорных, акцепторных примесей, примесей с глубокими энергетическими уровнями, образованию дислокаций в процессе диффузии примесей. Обсуждены механи...
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | eBook |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
Издательство Томского государственного университета
2022
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925804 |
| Summary: | В монографии систематизированы наиболее важные, по нашему мнению, данные, касающиеся процесса диффузии в арсениде галлия собственных точечных дефектов, донорных, акцепторных примесей, примесей с глубокими энергетическими уровнями, образованию дислокаций в процессе диффузии примесей. Обсуждены механизмы диффузионных процессов. Для широкого круга специалистов – научных сотрудников, инженеров, преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физики и технологии полупроводниковых материалов и микроэлектроники. |
|---|---|
| Item Description: | Посвящается 70-летию радиофизического факультета Томского государственного университета |
| Physical Description: | 246 с. ил., табл. |
| Bibliography: | Библиогр. в конце глав |
| ISBN: | 9785907572058 |