Нитрид кремния в электронике
| Other Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
Наука, Сибирское отделение
1982
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
| Item Description: | Авт. указаны на обороте тит. л.; В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии |
|---|---|
| Physical Description: | 200 с. ил. 21 см. |