LEADER 01738nam a2200289 4500
001 vtls000099387
003 RU-ToGU
005 20240122100934.0
008 950720s1982 __ 00| | rus d
035 |a 0102-77760 
035 |a (RU-ToGU)ru82-023711 
039 9 |y 200511062208  |z Александр Эльверович Гилязов  |b 21 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU  |d RU-ToGU  |e PSBO 
080 |a 621.382.049.77.002.3:661.55 
245 1 0 |a Нитрид кремния в электронике  |c [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др. ]; Отв. ред. А. В. Ржанов 
260 |a Новосибирск  |b Наука, Сибирское отделение  |c 1982  |9 687947 
300 |a 200 с.  |b ил.  |c 21 см. 
500 |a Авт. указаны на обороте тит. л.; В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии 
650 7 |a Кремний, нитрид.  |2 rurkp  |9 189473 
650 7 |a Микроэлектронные схемы интегральные - Материалы.  |2 rurkp  |9 189474 
700 1 |a Белый, Вячеслав Иванович.  |9 189475 
700 1 |a Васильева, Л. Л.  |9 189476 
700 1 |a Грищенко, В. А.  |9 189477 
700 1 |a Ржанов, Анатолий Васильевич.  |e редактор  |4 edt  |9 153686 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=98565 
999 |c 98565  |d 98565 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1460542К  |7 0  |9 205803  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-03  |g 1.40  |l 0  |o 1-460542к   |p 13820000263654  |r 2021-04-03  |t 1  |w 2021-04-03  |y 1