Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии: учебно-методический комплекс - Светухин, В. В. (Коммерциализация наукоемких продуктов и технологий в сфере нанотехнологий, 2006)