LEADER 02388nam a2200433Ii 4500
001 vtls000100004
003 RU-ToGUA
005 20220628232140.0
008 191202s2018 ru a 000 0 rus d
020 |a 9785982813664 
020 |a 9785160091884 
035 |a b000100004 
039 9 |a 202003101246  |c 201912161330  |d Rodionova  |c 201912131505  |d Rodionova  |y 201912021346  |z PavlovaN 
040 |a RU-ToGUA  |b rus  |c RU-ToGUA  |e PSBO 
080 |a 621.7.044(075) 
245 1 0 |a Вакуумная ионно-плазменная обработка  |b учебное пособие для вузов по направлению подготовки магистров 22.04.01 "Материаловедение и технологии материалов"  |c [А. А. Ильин, В. В. Плихунов, Л. М. Петров, В. С. Спектор] 
260 |a М. [и др.]  |b Альфа-М [и др.]  |c 2018 
300 |a 155, [2] с.  |b ил. 
440 0 |a Современные технологии  |p Магистратура  |9 13088 
504 |a Библиогр.: с. 150-155 
650 4 |a вакуумная обработка  |9 106411 
650 4 |a ионно-плазменная обработка  |9 3895 
650 4 |a газовая плазма  |9 106412 
650 4 |a плазма  |9 43066 
650 4 |a металлическая плазма  |9 106413 
650 4 |a вакуумные установки  |9 106414 
650 4 |a конденсат плазмы  |9 106415 
650 4 |a наноструктурные покрытия  |9 106416 
655 0 4 |a учебники для магистров  |x с грифом  |9 42166 
700 1 |a Ильин, Александр Анатольевич  |9 230289 
700 1 |a Плихунов, Виталий Валентинович  |9 232053 
700 1 |a Петров, Леонид Михайлович  |9 106417 
700 1 |a Спектор, Виктор Семенович  |9 106418 
852 4 |a RU-ToGUA  |h 621.7  |i В148  |n ru 
856 4 8 |u http://virtua.tsuab.ru:8080/cover/000100004.jpg 
856 |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ  |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=36887 
990 |a 621.7.044(075) 
999 |c 36887  |d 36887 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_700000000000000_В148  |7 0  |9 87982  |a RU-ToGUA  |b RU-ToGUA  |c 10007  |d 2021-08-27  |g 481.53  |o 621.7 В148  |p 13825000173681  |r 2021-08-27  |w 2021-08-27  |y 2