Физические основы вакуумной техники Учебное пособие
Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соо...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 02680nam a22003131 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 221 | ||
| 005 | 20230301224022.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 190327s2014 ru | 000 0 rus d | ||
| 020 | |a 9785778224247 | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621 | ||
| 084 | |a 312 |2 rubbk | ||
| 084 | |a 13.04.02 |2 okso | ||
| 084 | |a 13.03.02 |2 okso | ||
| 100 | 1 | |a Беркин, Александр Борисович |9 231496 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Физические основы вакуумной техники |h [Электронный ресурс] |b Учебное пособие |
| 260 | |a Новосибирск |b Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) |c 2014 | ||
| 300 | |a 84 с. | ||
| 520 | 3 | |a Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соответствую- щие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направ- лению 200100 Электроника и наноэлектроника. Оно может быть рекомендовано также для специалистов занимающихся эксплуатаци- ей вакуумного технологического оборудования. | |
| 540 | |a Профессиональное образование | ||
| 650 | 4 | |a Промышленность. Энергетика |x Электроэнергетика. Электротехника |2 local |9 33137 | |
| 655 | 0 | 4 | |a Учебное пособие |2 local |9 12755 |
| 700 | 1 | |a Василевский, Александр Иванович |9 231497 | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=107602 |y ЭБС Знаниум | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/0546 |f 546221.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/0546/546221.jpg |y ЭБС Знаниум |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=699810 | ||
| 999 | |c 699810 |d 699810 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||