Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II Учебное пособие
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной нау...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| Summary: | Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке технике и технологии. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направлению Нанотехнологии и микросистемная техника для дисциплин Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных материалов Методы диагностики и анализа микро- и наносистем и студентов обучающихся по направлению Микроэлектроника и наноэлектроника для дисциплины Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных структур. |
|---|---|
| Physical Description: | 227 с. |
| ISBN: | 9785778225343 |