Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II Учебное пособие
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной нау...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2014
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 03282nam a22003131 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 528 | ||
| 005 | 20230301225126.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 200605s2014 ru | 000 0 rus d | ||
| 020 | |a 9785778225343 | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621 | ||
| 084 | |a 312 |2 rubbk | ||
| 084 | |a 13.04.02 |2 okso | ||
| 084 | |a 13.03.02 |2 okso | ||
| 100 | 1 | |a Величко, Александр Андреевич |9 228586 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II |h [Электронный ресурс] |b Учебное пособие |c Новосибирский государственный технический университет |
| 260 | |a Новосибирск |b Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) |c 2014 | ||
| 300 | |a 227 с. | ||
| 520 | 3 | |a Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке технике и технологии. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направлению Нанотехнологии и микросистемная техника для дисциплин Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных материалов Методы диагностики и анализа микро- и наносистем и студентов обучающихся по направлению Микроэлектроника и наноэлектроника для дисциплины Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных структур. | |
| 540 | |a Профессиональное образование | ||
| 650 | 4 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | |
| 655 | 0 | 4 | |a Учебное пособие |2 local |9 12755 |
| 700 | 1 | |a Филимонова, Нина Ивановна |9 231085 | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=235022 |y ЭБС Знаниум | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/0546 |f 546528.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/0546/546528.jpg |y ЭБС Знаниум |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=707996 | ||
| 999 | |c 707996 |d 707996 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||