Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок Статья
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ижевск
ФГБОУ ВПО "Удмуртский Государственный университет"
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
