Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изгото...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Ростов-на-Дону
Издательство Южного федерального университета (ЮФУ)
2018
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
