Ионно-плазменная обработка материалов: Курс лекций учебное пособие
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного тра...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Москва
МИСиС
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Консультант студента Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 03190nam a22002291 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230302225017.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 230302 2008 | 000 0 d | ||
| 020 | |a 22278397200802 | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621.315.592 | ||
| 100 | 1 | |a Кузнецов, Г.Д. |9 253820 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ионно-плазменная обработка материалов: Курс лекций |h [Электронный ресурс] |b учебное пособие |c Кузнецов Г.Д.; Кушхов А.Р |
| 260 | |a Москва |b МИСиС |c 2008 | ||
| 300 | |a 180 c. | ||
| 520 | 3 | |a В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники. Курс лекций подготовлен по рекомендации горно-металлургической секции РАЕН. Содержание соответствует государственному образовательному стандарту по направлению "Электроника и микроэлектроника". Предназначено для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210600 "Нанотехнология". | |
| 650 | 4 | |a Технологии материалов |9 134706 | |
| 700 | 1 | |a Кушхов, А.Р |9 217473 | |
| 856 | 4 | |u https://www.studentlibrary.ru/book/2227-8397-2008-02.html |y ЭБС Консультант студента | |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=731642 | ||
| 999 | |c 731642 |d 731642 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||