Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур : рентгеновская рефлектометрия учебное пособие

Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу "Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур", читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 "Материаловедение и технологии материа...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Бублик, В.Т
Other Authors: Щербачев, К.Д, Воронова, М.и
Format: Book
Published: Москва МИСиС 2016
Subjects:
Online Access:ЭБС Консультант студента
Перейти в каталог НТБ ТГАСУ
Description
Summary:Кратко изложены теоретические основы метода рентгеновской рефлектометрии. Содержание пособия соответствует лекционному курсу "Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур", читаемому по направлению подготовки магистров 22.04.01 "Материаловедение и технологии материалов" по программе "Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники". Необходимость издания пособия определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует. Предназначено для магистров, обучающихся по направлению 22.04.01 "Материаловедение и технологии материалов" по программе "Материаловедение функциональных материалов наноэлектроники".
Physical Description:84 c.
ISBN:9785876239822