Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие

Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отд...

Полное описание

Библиографическая информация
Главный автор: Кривобоков, В. П.
Другие авторы: Сочугов, Н. С., Соловьев, А. А.
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск ТПУ 2011
Предметы:
Online-ссылка:ЭБС Лань
ЭБС Лань
Перейти в каталог НТБ ТГАСУ
LEADER 03135nam a22004931 4500
005 20230306222908.0
007 cr bn uu|uu
008 200604s2011 ru Wk 000 m rus d
020 |a 5982981915 
040 |a RU-ToGUA  |b rus  |c RU-ToGUA  |e PSBO 
080 |a 621.793.7(075.8) 
084 |a 34.55:34.663я73  |2 rubbk 
100 1 |a Кривобоков, В. П. 
245 1 0 |a Плазменные покрытия (методы и оборудование)  |h Электронный ресурс  |b учебное пособие  |c Кривобоков В. П., Сочугов Н. С., Соловьев А. А. 
260 |a Томск  |b ТПУ  |c 2011 
300 |a 104 с. 
520 3 |a Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами.  
540 |a Книга из коллекции ТПУ - Физика 
650 4 |a труды учёных тпу  |9 255728 
650 4 |a учебные пособия  |9 78645 
650 4 |a оптовый рынок энергии и мощности  |9 257569 
650 4 |a ресурсосбережение  |9 39169 
650 4 |a возобновляемые источники энергии  |9 255188 
650 4 |a энергосбережение 
650 4 |a энергетические обследования  |9 257570 
650 4 |a электроэнергетика  |9 51335 
650 4 |a договорные отношения  |9 53206 
650 4 |a электрическая энергия  |9 59050 
650 4 |a нормативно-правовая база  |9 257571 
650 4 |a тарифы  |9 40174 
650 4 |a потребительская корзина  |9 94657 
650 4 |a энергетическая составляющая  |9 257572 
650 4 |a орэм  |9 257573 
650 4 |a энергобалансы  |9 257574 
650 4 |a энергетические предприятия  |9 40479 
650 4 |a томская область  |9 39488 
695 |i учебная 
700 1 |a Сочугов, Н. С.  |9 257567 
700 1 |a Соловьев, А. А.  |9 89053 
856 4 |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10269  |y ЭБС Лань 
856 4 1 |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/10269.jpg  |y ЭБС Лань 
856 |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ  |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=736821 
999 |c 736821  |d 736821 
039 |z 2  |b 2