Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие
Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отд...
Главный автор: | |
---|---|
Другие авторы: | , |
Формат: | Книга |
Язык: | Russian |
Публикация: |
Томск
ТПУ
2011
|
Предметы: | |
Online-ссылка: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
LEADER | 03135nam a22004931 4500 | ||
---|---|---|---|
005 | 20230306222908.0 | ||
007 | cr bn uu|uu | ||
008 | 200604s2011 ru Wk 000 m rus d | ||
020 | |a 5982981915 | ||
040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
080 | |a 621.793.7(075.8) | ||
084 | |a 34.55:34.663я73 |2 rubbk | ||
100 | 1 | |a Кривобоков, В. П. | |
245 | 1 | 0 | |a Плазменные покрытия (методы и оборудование) |h Электронный ресурс |b учебное пособие |c Кривобоков В. П., Сочугов Н. С., Соловьев А. А. |
260 | |a Томск |b ТПУ |c 2011 | ||
300 | |a 104 с. | ||
520 | 3 | |a Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. | |
540 | |a Книга из коллекции ТПУ - Физика | ||
650 | 4 | |a труды учёных тпу |9 255728 | |
650 | 4 | |a учебные пособия |9 78645 | |
650 | 4 | |a оптовый рынок энергии и мощности |9 257569 | |
650 | 4 | |a ресурсосбережение |9 39169 | |
650 | 4 | |a возобновляемые источники энергии |9 255188 | |
650 | 4 | |a энергосбережение | |
650 | 4 | |a энергетические обследования |9 257570 | |
650 | 4 | |a электроэнергетика |9 51335 | |
650 | 4 | |a договорные отношения |9 53206 | |
650 | 4 | |a электрическая энергия |9 59050 | |
650 | 4 | |a нормативно-правовая база |9 257571 | |
650 | 4 | |a тарифы |9 40174 | |
650 | 4 | |a потребительская корзина |9 94657 | |
650 | 4 | |a энергетическая составляющая |9 257572 | |
650 | 4 | |a орэм |9 257573 | |
650 | 4 | |a энергобалансы |9 257574 | |
650 | 4 | |a энергетические предприятия |9 40479 | |
650 | 4 | |a томская область |9 39488 | |
695 | |i учебная | ||
700 | 1 | |a Сочугов, Н. С. |9 257567 | |
700 | 1 | |a Соловьев, А. А. |9 89053 | |
856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10269 |y ЭБС Лань | |
856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/10269.jpg |y ЭБС Лань |
856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=736821 | ||
999 | |c 736821 |d 736821 | ||
039 | |z 2 |b 2 |